Unter ultrakurzen Laserpulsen versteht man Laser in einem Pulslängenbereich von einigen hundert Femtosekunden (fs) bis zu Picosekunden (ps). Aufgrund der extrem kurzen Pulslängen und den relativ hohen Pulsenergien, erreichen die Laserpulse Pulsleistungen im Megawattbereich. Die mittlere Leistungen heute verfügbarer industrieller Laser erreichen aufgrund ihrer hohen Pulsfrequenzen wenige bis zu einige hundert Watt. Bei ausreichender Fokussierung des Laserstrahls auf der Materialoberfläche erreicht die Intensität des Strahls viele Gigawatt pro Quadratzentimeter.
Im Gegensatz zu Lasern mit thermischen Pulsen (ns bis ms) beruht der Materialabtrag nicht auf der thermischen Wirkung im Material (Schmelze, Verdampfung) sondern aufgrund eines direkten Übergangs des Werkstoffs vom festen in den gasförmigen Zustand. Erklärt wird dieser Vorgang u.a. durch die sogenannte Multi-Photonen-Absorption, die durch nichtlineare Effekte aufgrund der hohen Intensität des Laserstrahls hervorgerufen werden kann.
Die Folge ist eine sehr geringe thermische Belastung des zu bearbeitenden Werkstoffs. Aufschmelzungen, thermische Spannungen und Gefügeveränderungen können weitestgehend vermieden werden. Daher spricht man beim Materialabtrag mit ultrakurzen Pulsen auch von einer sogenannten „kalten“ Materialbearbeitung.
In Verbindung mit der hohen Strahlqualität die moderne Laser heute erreichen, ergibt sich unter diesen Voraussetzungen ein nahezu ideales Werkzeug für die Mikrobearbeitung.
In Abhängigkeit von der Wellenlänge lassen sich nahezu alle technischen Werkstoffe, wie Metalle, Kristalle, Gläser, Keramiken aber auch organische Werkstoffe, Kunststoffe und Verbundwerkstoffe bearbeiten.